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硅光集成芯片

  硅光集成芯片作为新一代光电集成芯片,将多种微纳结构集成在一起,使之具备一定的功能。平台拥有具备小批量生产能力的电子束光刻机,曝光速度快且精度高,可加工波导、微环、分束器、耦合光栅等器件。