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  高端光电子芯片创新中心是清华大学天津电子信息研究院三大平台之一,由天津华慧芯科技集团有限公司全面负责运营。中心位于启发大厦一层超净实验室,面积约1200㎡,其中百级黄光区100㎡。中心拥有完备的光电子器件研发设备,支持III-V族半导体、硅基半导体、二维材料、柔性材料、金属材料等光电子芯片的研发,并具有多个纳米尺度的特色工艺模块和先进表征模块;配套的测试实验室提供国际领先的芯片测试分析技术。中心在面向支持天津电子院项目孵化的同时,面向社会开放,提供纳米尺度下光电子芯片制备工艺和测试分析的解决方案,以提升我国光电子芯片的研发水平和产业化进程。
创新中心超净间布局图
创新中心设备