首页 - 工艺服务 - 表征测试

离子刻蚀镀膜仪

GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS Ⅱ)是一款桌面型宽束氩离子抛光、镀膜及膜厚测量设备。对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。

联系我们

服务介绍:

GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS Ⅱ)是一款桌面型宽束氩离子抛光、镀膜及膜厚测量设备。对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。设备采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量样品。用于SEM、光镜或者扫描探针显微镜进行成像。

服务内容:

图片12.jpg

服务说明:

成果展示: