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聚焦离子束(FIB)系统

Crossbeam 540聚焦离子束(FIB)系统采用液态镓离子源。离子源寿命为3000µAh。加速电压30kV下分辨率可达3nm。同时配有五支气体注入系统,及透射电镜样品制备用机械手。该系统可适用于横截面和断层扫描,3D分析,TEM样品制备及纳米图形加工。


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服务介绍:

Crossbeam 540聚焦离子束(FIB)系统采用液态镓离子源。离子源寿命为3000µAh。加速电压30kV下分辨率可达3nm。同时配有五支气体注入系统,及透射电镜样品制备用机械手。该系统可适用于横截面和断层扫描,3D分析,TEM样品制备及纳米图形加工。

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