华慧芯科技集团
清华大学天津电子信息研究院
华慧芯科技集团是国内高端光电子工艺研发代工的开拓者,是天津市首批瞪羚企业(入库登记编号DL20191106BH00134),是国家级高新技术企业,已完成B轮融资,主营业务为高端光电子芯片工艺研发、微纳结构和材料表征分析,以及高新技术企业的投资孵化。
华慧芯科技集团全面负责清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心(简称“高端光电子中心”)的运营,目前拥有70余人的高水平技术团队,1200㎡的研发中心,18000㎡的生产基地。同时,培养在站博士后1人,硕士生7人。
高端光电子中心拥有国内先进的、完备的光电子器件研发设备,支持III-V族化合物、硅基半导体、二维材料、金属材料等光电子芯片的研发、表征及分析。
清华高端光电子中心是天津市科技局立项支持的市级中试平台,目前已为200余家机构提供了高端光电子工艺研发代工的技术服务。
高端光电子芯片工艺研发
  • III-V激光器全套工艺流片

    三五族半导体激光器芯片广泛应用于光通信、光学传感和生物医疗等领域,平台具备完善的三五族半导体激光器芯片流片设备及流片工艺,包括光刻、刻蚀、薄膜、划裂、测试及分选等,可以将外延片加工为成品芯片,为客户提供芯片研发、中试和小批量生产的技术服务。
  • 硅光集成芯片

    硅光集成芯片作为新一代光电集成芯片,将多种微纳结构集成在一起,使之具备一定的功能。平台拥有具备小批量生产能力的电子束光刻机,曝光速度快且精度高,可加工波导、微环、分束器、耦合光栅等器件。
  • 电子束直写光刻及配套工艺

    电子束光刻机可直写10nm量级图形,可应用于微型光栅、光子晶体、光学超表面、纳米压印模板等的制作与加工。平台的电子束光刻机具备小批量进行电子束曝光的能力。
微纳结构和材料表征分析
  • 激光器截面切割&表征
  • 二次电子成像
  • STEM-LiMnO八面颗粒
  • LaMnO3/SrTiO3薄膜晶格结构
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